碳化硅襯底位錯缺陷光學無損檢測系統(tǒng)特點

SiC襯底位錯缺陷檢測專用設備

光學非接觸無損檢測

BPD、TSD、TED分類識別

SiC襯底：4'/6'/8';導電、半絕緣

碳化硅襯底位錯缺陷光學無損檢測系統(tǒng)：最高檢測速度：＜17 min/片（6"）

大連創(chuàng)銳光譜科技有限公司基于自主創(chuàng)新的時間分辨光譜技術，致力于推動光譜技術在科研和工業(yè)領域的深入應用。在科研儀器領域，創(chuàng)銳光譜由一線專家?guī)ш?，是目前國?nèi)極少具備瞬態(tài)光譜獨立研發(fā)-生產(chǎn)-應用完整能力體系的團隊。創(chuàng)銳光譜以時間分辨光譜核心技術，超快瞬態(tài)吸收光譜系統(tǒng)為核心產(chǎn)品，打破進口壟斷格局。主要產(chǎn)品包括瞬態(tài)吸收光譜系統(tǒng)、共聚焦熒光成像系統(tǒng)、DPSS納秒激光器及高速探測器。在工業(yè)半導體檢測領域，公司以光譜技術創(chuàng)新為核心立足點，已迅速完成碳化硅襯底、外延、氮化鎵、鈣鈦礦電池等多領域布局。